三氯氢硅是干什么的 三氯氢硅用途有哪些？
是一种无机物，化学式为HCl3Si。三氯氢硅是制单晶硅原料，外延成长、制硅液、制硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。化学性质。它的热稳定性比二氯硅烷好，
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